CMP固定環(huán)-PEEK零件加工

發(fā)布時間：2023-04-26 13:19:59

化學機械研磨（CMP）是晶圓生產(chǎn)過程中一項關(guān)鍵性制程技術(shù)，CMP固定環(huán)是用來在研磨過程中固定硅片、晶圓，選擇的材料應(yīng)具有良好的耐磨性、尺寸穩(wěn)定、耐化學腐蝕、易加工，避免晶硅片/圓表面刮傷、污染。

CMP固定環(huán)是用來在研磨過程中用來固定晶圓的，選擇的材料應(yīng)避免晶圓表面刮傷、污染等，通常使用標準型PPS制作。

PEEK具有較高的尺寸穩(wěn)定性、易于加工性、良好的機械性能、良好的耐化學腐蝕性以及良好的耐磨性，與PPS環(huán)相比，采用PEEK制成的CMP固定環(huán)耐磨性更強，使用壽命延長一倍，從而減少故障停機時間，提高晶圓產(chǎn)能。